Motor de bobina de voz lineal de alta precisión de alta respuesta para control de micro movimiento de semiconductores

En los procesos de fabricación de semiconductores, como el procesamiento de obleas, la litografía, la inspección y el embalaje, el control de micro-posicionamiento requiere una precisión extremadamente alta, una respuesta rápida,y la estabilidad a largo plazoLos motores de bobina de voz lineal, con un funcionamiento de accionamiento directo y un excelente rendimiento dinámico, se han convertido en una solución de accionamiento ideal para el control de micro desplazamiento en equipos de semiconductores.

Los motores de bobina de voz lineal generan empuje directamente a través de la fuerza electromagnética, lo que permite, sin fricción,movimiento lineal libre de retroalimentación con resolución de posicionamiento a nivel de micrómetros o incluso a nivel de nanómetrosEn comparación con los mecanismos tradicionales de tornillo de plomo o servo, los motores de bobina de voz lineal ofrecen una precisión de posicionamiento superior y una repetibilidad dentro de rangos cortos.Son particularmente adecuados para la alineación de obleas, enfoque óptico, control de contacto de la sonda y etapas de posicionamiento de precisión.

En aplicaciones de escaneo de alta velocidad y compensación dinámica, los motores de bobina de voz lineales ofrecen una alta aceleración y respuesta de alta frecuencia,permitir un seguimiento preciso de los comandos de control y una compensación efectiva de los errores del sistema y las perturbaciones ambientalesSu movimiento suave y de baja vibración ayuda a minimizar las perturbaciones del proceso en la fabricación de microestructuras y garantiza un rendimiento estable del proceso.