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Motor de bobina de voz micro rotativa de alta precisión para inspección y medición de obleas

  • High Precision Micro Rotary Voice Coil Motor For Wafer Inspection And Measurement
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Lugar de origen China, Suzhou
Nombre de la marca SUPT MOTION
Certificación CE, ISO9001
Número de modelo VARS0042-040-00A
Cantidad de orden mínima 1 Uds.
Precio $112-$190
Detalles de empaquetado Embalaje personalizado, etc.
Tiempo de entrega 1-5 piezas, 5 días. > 20 piezas, a negociar
Condiciones de pago T/T
Capacidad de la fuente Para ser negociado
Datos del producto
Función de protección Totalmente encerrado Solicitud Producto automático
Voltaje 3,5 V Empuje máximo 0,42 N·m
tamaño 82*53,6*30,3mm Ataque 40 °
Material Aleación de aluminio Método de actuación Volante de voz
Garantía 3 meses-1 año Velocidad nominal 100 rpm
Constante EMF posterior (LL) (Kb) 0.12 Peso de la bobina (g) 38
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Motor de bobina de voz rotativa de alta precisión

,

motor de bobina de micro voz para inspección de obleas

,

Motor rotatorio de bobina móvil con garantía
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Descripción de producto

Descripción del producto:

En el equipo de inspección y metrología de obleas, el motor de bobina de voz rotativo es el componente principal para lograr una inspección de escaneo precisa.Aprovechando sus características de ancho de banda alto y alta precisión de la unidad directa, puede conducir sondas de inspección o lentes ópticas para realizar escaneos de rotación de alta frecuencia y ángulo pequeño alrededor de la superficie de la oblea.Junto con la optimización de algoritmos de controladores de movimiento especializadosEl diseño del motor de bobina de voz rotativa sin transmisión mecánica elimina los errores de reacción negativa.suprime eficazmente las interferencias de vibración, y asegura la captura precisa de defectos a nanoescala durante la inspección de defectos de las obleas y el escaneo de patrones de circuito.También cumple con los requisitos de movimiento de rotación de las plataformas de ajuste de obleas de tres grados de libertad, permitiendo ajustes angulares finos a lo largo de los ejes θx/θy, proporcionando un soporte confiable para el control del rendimiento en los procesos de fabricación de semiconductores.

Características:

Ligero peso de la bobina del actuador, corto tiempo de respuesta y alta frecuencia.

Tipo de producto: motores de bobina de voz rotativos, motores de bobina de voz oscilantes, motores de bobina de voz en forma de arco.
Precisión de posicionamiento: ±0,08°
Rango de par: 0,42 N·m
Velocidad de rotación: 100-800 r/min.
 

Parámetros del producto:

Modelo de producto
Torque máximo
(N-m)		 Torque continuo
a 25°C ((N-m)

Acción total
grados 

(grado)

 Ventilación máxima
(V)		 Constante de campo electromagnético de retorno
(V/m/s)		 Peso de la bobina (g) Duración
(mm)		 Ancho
(mm)		 Alturas
(mm)
VARS0008-026-00A: el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero 0.08 0.05 26 6.4 0.05 11.7 35 39.8 36.1
VARS0017-090-00A: el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero en el aire 0.17 0.1 90 11.1 0.1 17.8 70 41.5 39
VARS0022-032-00A: el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero en el aire 0.22 0.12 32 15.5 0.16 21.5 60 60 36
VARS0042-040-00A: el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero 0.42 0.38 40 3.5 0.12 38 82 53.6 30.3
VARS0077-020-00A: el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero 0.77 0.63 20 6.7 0.24 66 75 50 30
VARS0084-030-00A: el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero 0.84 0.6 30 6.3 0.2 50.4 75 48.9 30.6
VARS0120-020-00A 1.2 0.5 20 8.4 0.67 65 81 73.4 32
VARS0350-060-00A: el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero en el aire 3.5 1.6 60 26.3 0.4 350 ¢169.6 ¢169.6 63
VARS0706-014-00A: el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero 7.1 2.1 14 52.4 1.03 225.5 115 65 54.5
VARS4520-030-00A: el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero 45.2 19 30 71.5 4.3 1350 ¥240   78

Aplicación:

Las aplicaciones principales de un motor de bobina de voz:
1- Industria de semiconductores: cableado, corte, perforación, sistemas de transporte, soldadura y robótica.

2- Funcionamiento de las válvulas en el campo:Tipo de válvulas de medición, sistemas de ensayo de presión, química de las válvulas neumáticasel sistema de inyección.
3- Industria de micro máquinas: sistemas de alimentación, micro perforación, estampado de precisión.
4.Sistema de vibración: Mesa de agitación, plataforma de vibración.
5.Médico: Sistema de microinyección, equipo respiratorio, equipo de pruebas.
6Tecnología de la aviación: Sistema de control de vuelo, sistema de retroalimentación del piloto.
7.Campo de uso comercial:Pumpa de refrigeración de ordenador con cámara en miniatura Sistema de enfoque.
8Industria de la automatización: Equipo láser,Dispensador, equipo de ensayo, maquinaria textil.

Motor de bobina de voz micro rotativa de alta precisión para inspección y medición de obleas 0

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