Motor de bobina de voz giratoria de micro resonancia de alta frecuencia utilizado para el embalaje de chips

Como componente de potencia de transmisión directa de alta precisión, el motor de bobina de voz giratoria desempeña un papel clave en la calibración del ángulo de la oblea durante el proceso de alineación y posicionamiento de la oblea,gracias a sus principales ventajas de ±0.01° repetibilidad de rotación, velocidad de respuesta de milisegundos, funcionamiento libre de engranajes y bajo desgaste.Las desviaciones angulares de la oblea afectan directamente a la precisión de los procesos posterioresEl motor rotativo de la bobina de voz puede conducir rápidamente la etapa de la oblea para realizar ajustes de rotación de ángulo fino basados en la retroalimentación del sistema de posicionamiento de visión.con un tiempo de respuesta inferior a 10 ms, que garantiza una alineación precisa de la oblea con la máscara de litografía y la trayectoria de grabado.que cumplen perfectamente los requisitos de alineación de alta precisión para las obleas ultrafinas e irregularesAdemás, su diseño estructural compacto permite la integración en espacios de dispositivos limitados y se adapta a los requisitos de diseño integrado de la plataforma de ajuste de obleas.