Motores cilíndricos de bobina móvil de alta precisión 44N para equipos semiconductores

Resumen del producto

El VCAR0044-0075-00A es un motor de bobina de voz cilíndrica diseñado específicamente para lograr una alta precisión de posicionamiento.Este motor de bobina de voz proporciona un movimiento lineal directo con un empuje máximo de 44N sobre un 7.5 mm de carrera y consigue una resolución de posicionamiento de 0.5um cuando se utiliza en el control de circuito cerrado con un codificador lineal.
El diseño de la bobina móvil sin contacto elimina la reacción, el engranaje y la histeresis, lo que permite al motor mantener su posición y volver repetidamente a la misma ubicación.la trayectoria de movimiento rígida y la baja masa móvil proporcionan al sistema un gran ancho de banda mecánico, ayudando al servocircuito a suprimir las perturbaciones y estabilizarse rápidamente.
Este motor de bobina de voz está fabricado con componentes de precisión y un circuito magnético equilibrado para mantener una onda de baja fuerza.Las superficies del carril de guía de tierra de precisión y los imanes combinados mantienen la fuerza de ondulación por debajo del 1% del valor de salida nominal durante todo el cursoEs un componente ideal para la alineación, inspección o equipo de medición a nivel de micrómetro.

Solución

Los errores de posicionamiento en el equipo de precisión generalmente provienen de la reacción negativa, la fricción de deslizamiento de palos, la deriva térmica y la resonancia mecánica.Los motores de la bobina de voz eliminan completamente las dos primeras fuentes de error: no hay engranajes o tornillos de plomo para causar retroceso, y el diseño de la bobina sin contacto significa que no hay fricción estática para superar.Los errores restantes se controlan mediante un sistema de circuito cerrado que incorpora un codificador lineal de alta resolución, que proporciona retroalimentación directa sobre la posición real de la carga.
Dado que la fuerza es proporcional a la corriente, el servosistema puede aplicar con precisión exactamente la cantidad correcta de fuerza para lograr movimientos de paso de 0,5 micrómetros o mantener una posición estable bajo carga.El resultado es un eje de movimiento con precisión a nivel de micrómetro, libre de deriva inducida por el desgaste, y un rendimiento constante durante millones de ciclos.
Debido a que no hay fricción, los efectos de deslizamiento de los palos, una causa común de agitación en las etapas tradicionales, no se producen incluso a velocidades extremadamente bajas.Esta solución aumenta el rendimiento al tiempo que reduce la chatarra y el retrabajo.

Especificaciones

Aplicación

Aplicaciones típicas: Estas incluyen alineación de obleas de semiconductores, fotónica y alineación de fibra, posicionamiento de la cabeza de procesamiento láser, enfoque del eje Z en microscopios, plataformas de medición de precisión,inspección de máscaras, y el posicionamiento del dispositivo médico.
Este actuador de bobina de voz también se utiliza en sistemas de enfoque automático para cámaras industriales y para el control de válvulas de precisión en instrumentos analíticos.Cualquier tarea de movimiento de carrera corta que requiera resolución submicrónica y capacidad de mantenimiento de posición estable puede beneficiarse de este actuador.

Preguntas frecuentes

P: ¿Cómo se consigue una resolución de 0,5 mm?
R: La resolución proviene de la combinación de un motor de bobina de voz sin fricción y un codificador lineal de alta resolución en un circuito cerrado de servo.y la salida de fuerza suave del motor permite movimientos de un solo paso de 0.5 mm.

P: ¿Qué factores influyen en la repetibilidad?
R: La repetibilidad depende principalmente de la calidad del codificador, el ajuste de servo y la estabilidad térmica.Así que la repetibilidad mecánica se mantiene constante durante la vida del motorLa calibración regular del codificador es el único mantenimiento de rutina recomendado.

P: ¿Puede el motor mantener su posición cuando está encendido?
R: Sí. En un bucle cerrado, el servo puede mantener la bobina en cualquier posición dentro de la carrera equilibrando la fuerza contra la carga.

P: ¿Puedo obtener una opción de trazo o codificador personalizado?
R: Sí. SUPT MOTION puede ajustar la carrera, la fuerza, el voltaje y el tipo de codificador. Póngase en contacto con nosotros con su objetivo de precisión y perfil de movimiento para una propuesta a medida.